人们目前对低温等离子体诱导机理的研究被认为是粒子非弹性碰撞的结果。低温等离子体激元富含电子，离子，自由基和受激分子。其中，高能电子与气体分子（原子）发生碰撞，将能量转换为基态分子（原子）的内部能量，从而产生激发，离解和电离，等待一系列吸管被激活。

一方面，气体的分子键打开，一些单分子和固体颗粒诞生；另一方面，他们是天生的。OH，H2O2。例如自由基和高氧化性的O3，在此过程中，高能电子在确定敏感性中起作用，而离子的热活性仅具有副作用。在常压下，由气体放电产生的等离子体中高度不平衡的电子温度远高于气体温度（室温下约为100°C）。

在非平衡等离子体中可能发生各种类型的化学反应，这主要取决于电子的均匀能量，电子密度，气体温度，有害气体分子的浓度和≥气体成分。这提供了一些需要大量活化能的反应，例如去除大气体中的难熔污染物。它也可以用于低浓度，高流速，大风量的含有挥发性有机污染物和含量的物质。处理硫污染物。

产生等离子体的常见系统是气体放电。所谓的气体放电是指某种将气体原子或分子中的电子电离的机制的过程。形成的气体介质称为电离气体。如果被电离，则气体由外部电场产生并构成传导电流。这种现象称为气体放电。根据放电机理，气体压力源的性质和电极的几何形状，气体放电等离子体主要分为以下几种情况：辉光放电；介质被排出；RF放电；微波放电。

工业废气治理人员提醒一般在常压下处理气态污染物，因为无论产生哪种等离子体，都需要高压放电。容易引起火花和危险。由于处理气态污染物，一般要求在常压下进行。